電子行業(yè)生產工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高。因此整個工程建設要根據(jù)需求合理設計潔凈度等級、溫濕度、防微振、防靜電等從技術、工藝、能耗等方面規(guī)劃建設。
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